2014.09.30
平成26年9月29日、平成25年度補正ものづくり補助金に、弊社申請事業「新規洗浄装置導入による半導体製造装置用防着板の受注拡大」が採択されました。 新たに12インチラインむけの洗浄槽および超音波発振器を導入するものであります。