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表面改質処理加工・治具洗浄〈治具洗浄部〉

治具・部品のメンテナンスは、品質維持から改善へ…。
溶射+洗浄技術で、母材を傷めず高品質に再生します。

トムコでは、長年の実績を誇る洗浄・再生技術に加え、
粉末パウダーを溶融し素材表面にコーティングする表面改質技術である「溶射」の完全内製化を実現しています。
これにより、治具・部品の素材や形状などに最適化された溶射条件のもとで、
高緻密・高絶縁特性・耐摩耗性・耐食性を実現するコーティング技術を提供。
さらに、自社クリーンルームでの超音波超純水洗浄から、減圧乾燥、真空パッキングまでの一貫した
生産・管理体制で、真空チャンバー内に組み込まれている部品や治具などを高品質に再生します。

治具・部品洗浄の基本工程

①受入検査

  • 員数・シリアル番号を確認し、外観などお客様の仕様に合わせた検査を実施。
  • シリアル番号から部品の洗浄履歴を管理。

②被膜剥離

  • ドライエッチング、ウエットエッチングなど、部品母材の材質・表面状態に最適な被膜剥離(表面付着物の除去)法を選択し、母材へのダメージを最小化。

③表面改質処理

  • お客様仕様に合ったカスタマイズ提案により、ブラスト処理、溶射など最適な表面改質を実施。
  • ブラスト処理(材料):アルミナ、ドライアイス、シリウス、その他。
  • プラズマ溶射/アーク溶射(材料):アルミ、銅、アルミ合金、セラミック、チタン、その他。

④精密洗浄

  • 自社クリーンルーム(クラス1000)内において洗浄・乾燥を行い、ハイレベルな品質管理を実現。

被膜剥離から表面処理、洗浄までの設備を導入し、
お客様に高品質な再生部品をお届けします。

トムコの自社工場では、エッチングやブラスト処理、溶射、クリーンルームでの精密洗浄、検査など、
治具・部品の洗浄・再生工程に不可欠なすべての設備を導入。
PVD装置、CVD装置、エッチング装置などで使われた治具・部品に付着したデポ膜を剥離し、
表面処理・精密洗浄・乾燥・検査までを一貫してサポートし、
お客様製造ラインの歩留まり向上とランニングコストの削減に貢献します。

〈 受入検査 〉

部品にレーザーマーカーでシリアルナンバーを刻印し、部品の保守履歴を一元管理します。

〈 表面改質処理 〉

溶射により母材に被膜を形成し、耐腐食、耐熱、耐摩耗、耐薬品などの性能を向上させます。

〈 精密洗浄 〉

クリーンルーム内の超音波洗浄機で、表面処理の際付着した汚れや不純物を精密洗浄します。

プラズマ溶射

溶射ガンヘッド部の電極において発生させたプラズマジェットに、アルゴンガスを用いて粉末材を投入し溶融させ、基材に吹き付けて皮膜を生成させます。

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